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2024年3月14日发(作者：title page什么意思)

XXXXXXXX大学（MEMS）实验报告

实验名称 使用 L-Edit 画PMOS 布局图

实验时间 年 月 日

专 业 姓 名 学 号

预 习 操 作 座 位 号

教师签名 总 评

一、实验目的：

1、熟悉版图设计工具L-Edit的使用方法，并且能正确的使用这些工具；

2、掌握版图设计的设计规则；

3、能运用L-Edit 实现器件的布局图，以PMOS与NMOS设计为例；

二、基本原理：

1、CMOS器件的制作工艺

2、PMOS器件和NMOS器件的版图

实验原理截图：

（1）PMO版图设计原理图：

（2）CMOS版图设计原理图：

3、设计版图时的注意事项：

（1）L-Edit编辑环境是预设在P型基板上，故在P型基板上制作PMOS的第一步是需要

做出N Well区，即需设定N阱区；然而对于NMOS则不需要N Well群区。此外在设计版图

时，需要将图绘制在原点之上，否则不利用版图截面的观察。


本文标签： 设计 版图 实验 器件 预设

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