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2024年4月16日发(作者：hibernate中get和load的区别)

GAS

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系

统

基

础

知

识

概述

HOOK-UP专业认知

一、 厂务系统HOOK UP定义

HOOK UP 乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到

预期的功能。HOOK UP是将厂务提供的 UTILITIES ( 如 水,

电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点( PORT OR

STICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备

( SUBUNITS)。

机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并

将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经

由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气

处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE

DRILL，SEISMIC ，VACUU，GAS，CHEMICAL，

D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.

二、 GAS HOOK-UP专业知识的基本认识

在半导体厂，所谓气体管路的Hook-up（配管衔接）以Buck Gas

（一般性气体如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）

而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（Main Piping）至

次主管线（Sub-Main Piping）之Take Off点称为一次配（SP1

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本文标签： 系统 机台 连接 气体 付予

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