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2024年4月23日发(作者：js定义全局变量)

特气操作规程

1. 特气种类：

NH3 CF4 SiH4;

2. 特气的危险性：

见物质安全系数表MSDS;

3. 特气更换操作：

由于特气的危险性，任何更换特气的操作，需要两人在现场操作：由一人操作，另一

人监督；并且是培训合格上岗的人进行监督。

硅烷：

一.硅烷为全自动柜，一用一备，当使用瓶气体使用完后，备用瓶自动切换供气，触摸

屏会有显示，这时就需要更换已使用完的特气。全自动吹扫、保压。

二.钢瓶的更换：1.将用完的钢瓶关闭.2.进入钢瓶更换吹扫进行前吹扫3.到EC时方可

更换钢瓶4.更换时需更换一次性垫片5.拧紧接口.6.点击确定进行后吹扫.7.吹扫完毕之后.

打开钢瓶8.依次点击确定到备用状态位置.

三.注意事项：1.检查气柜有无报警与HPT压力是否正常.3.通风是否正常.4经

常清理气柜外侧和内侧的卫生

氨气、四氟化碳：

这两种气体为半自动柜，当使用瓶气体使用完后，可以自动切换备用瓶进行供气，需

要更换钢瓶，更换时需要手动吹扫、保压。

一. NH3钢瓶更换：

1关闭钢瓶

2.打开GNBV，PNBV.

3.进入吹扫程序.

4打开HPV2.关闭HPV.

5.打开氮气进气阀门.关闭氮气进气阀门…4-5程序反复操作20次.

6.然后打开氮气进气阀门三分之一.

7.拆掉钢瓶

8.更换垫片.

9.安装新钢瓶.接口拧紧

10.打开氮气阀门.关闭氮气阀门.

11.保压2小时.

12.保压成功之后4-5程序反复吹扫40次.

13打开钢瓶确认压力.

二. CF4钢瓶更换：

1.关闭空钢瓶

2.打开HPV

3.拆掉钢瓶

4.更换垫片

5.安装新钢瓶

6.关闭HPV.

7打开钢瓶

8关闭钢瓶.保压30分钟.压力没有损失然后进入后吹扫….吹扫步骤：

1打开钢瓶

2.关闭钢瓶

3.打开HPV4.关闭HPV.1-4步骤反复进行20次之后打开钢瓶备用

三. 注意事项：1检查NH3加热箱是否正常2.钢瓶出口压力是否正常.3.输送压力是

否正常4.气柜有无报警5.通风是否正常6.经常打扫特气房卫生.防止飞尘进入气柜.


本文标签： 钢瓶 更换 是否 压力 进行

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