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2024年12月27日发(作者：linuxmove用法)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM,

SUBSTRATE CONVEYANCE METHOD,

SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND

CONVEYANCE CONTAINER

发明人：OTANI MASAMI,大谷 正美

申请号：JP特願平9-216586

申请日：19970811

公开号：JP特開平11-67868A

公开日：19990309

专利附图：

摘要：Array

申请人：DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD,大日本スクリーン製造株式会社

地址：京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1

国籍：JP

代理人：吉田 茂明 (外2名)

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本文标签： 专利 知识产权 出版社 内容

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