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2024年12月27日发(作者:linuxmove用法)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM,

SUBSTRATE CONVEYANCE METHOD,

SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND

CONVEYANCE CONTAINER

发明人:OTANI MASAMI,大谷 正美

申请号:JP特願平9-216586

申请日:19970811

公开号:JP特開平11-67868A

公开日:19990309

专利附图:

摘要:Array

申请人:DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD,大日本スクリーン製造株式会社

地址:京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1

国籍:JP

代理人:吉田 茂明 (外2名)

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本文标签: 专利 知识产权 出版社 内容