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2024年12月28日发(作者：or函数)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：SUBSTRATE-HOLDING MEMBER, ALIGNER,

AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

发明人：NAKANO KATSUSHI,中野 勝志,YAMATO

SOICHI,大和 壮一,UMAGOME NOBUTAKA,馬

込 伸貴

申请号：JP2004123712

申请日：20040420

公开号：JP2005310933A

公开日：20051104

专利附图：

摘要：Array

申请人：NIKON CORP,株式会社ニコン

地址：東京都千代田区丸の内３丁目２番３号

国籍：JP

代理人：志賀 正武,高橋 詔男,青山 正和,西 和哉

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