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2024年12月28日发(作者：自我介绍的ppt模板免费下载)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：SUBSTRATE INSPECTING METHOD AND

SUBSTRATE INSPECTER

发明人：NAKADA MASAHIKO,中田 匡彦,HACHITANI

MASAYUKI,蜂谷 昌幸,SAKURAI YOSHIHIKO,櫻

井 喜彦

申请号：JP2004005376

申请日：20040113

公开号：JP2005203421A

公开日：20050728

专利附图：

摘要：Array

申请人：HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORP,株式会社日立ハイテクノロジーズ

地址：東京都港区西新橋一丁目２４番１４号

国籍：JP

代理人：小川 勝男

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