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2024年12月28日发(作者:计算机原码反码)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:SUBSTRATE SUCKING METHOD, SUBSTRATE

HOLDER, AND SUBSTRATE SUCKING DEVICE

发明人:TERAUCHI TETSUYUKI,寺内 哲行,NAKAGAWA

TOSHIHIKO,中川 敏彦

申请号:JP2005194409

申请日:20050701

公开号:JP2007008698A

公开日:20070118

专利附图:

摘要:Array

申请人:ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD,石川島播磨重工業株式会社

地址:東京都江東区豊洲三丁目1番1号

国籍:JP

代理人:三好 祥二

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