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2024年12月28日发(作者：pathinfo怎么获取)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS,

SUBSTRATE TAKEOUT METHOD, AND

SUBSTRATE ACCOMMODATION METHOD

发明人：YOSHIZAWA TAKENORI,吉澤 武徳,UNNO

SHIGENOBU,海野 重信

申请号：JP2002348903

申请日：20021129

公开号：JP2004186249A

公开日：20040702

专利附图：

摘要：Array

申请人：SHARP CORP,シャープ株式会社,DAIHEN CORP,株式会社ダイヘン

地址：大阪府大阪市阿倍野区長池町２２番２２号,大阪府大阪市淀川区田川２丁目１番１１号

国籍：JP,JP

代理人：山本 秀策,安村 高明,大塩 竹志

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本文标签： 大阪市 专利 知识产权 出版社 内容

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