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2024年12月29日发(作者:java查看类型的方法)
简述双极型集成电路的工艺流程
英文回答:
Bipolar Integrated Circuit Fabrication Process.
The fabrication process of bipolar integrated circuits
involves several key steps, including:
1. Substrate Preparation: The process begins with
preparing the silicon substrate by cleaning and oxidizing
it to form a thin layer of silicon dioxide (SiO2).
2. Epitaxial Layer Formation: An epitaxial layer of
silicon is deposited on the substrate to create a region
with controlled electrical properties suitable for
transistors.
3. Isolation Diffusion: Boron or phosphorus ions are
diffused into the substrate to create isolation regions,
separating different components of the circuit.
4. Base Diffusion: Boron or phosphorus ions are
diffused into selected regions to form the transistor base
regions.
5. Emitter Diffusion: Phosphorus or arsenic ions are
diffused into the base regions to form the transistor
emitter regions.
6. Contact Formation: Metal contacts are deposited and
patterned to connect the different components of the
circuit.
7. Passivation: A layer of silicon nitride or polyimide
is deposited to protect the circuit from external
contaminants.
8. Packaging: The circuit is encapsulated in a
protective package to provide mechanical and environmental
protection.
中文回答:
双极型集成电路的工艺流程。
双极型集成电路的制作工艺流程包含以下几个主要步骤:
1. 衬底制备,工艺开始于通过清洁和氧化硅衬底,形成一层薄
的二氧化硅 (SiO2) 层来制备衬底。
2. 外延层形成,在衬底上沉积硅的外延层,以创建具有适合晶
体管的受控电气特性的区域。
3. 隔离扩散,将硼或磷离子扩散到衬底中以创建隔离区域,将
电路的不同组件分开。
4. 基极扩散,将硼或磷离子扩散到选定的区域中,以形成晶体
管基极区域。
5. 发射极扩散,将磷或砷离子扩散到基极区域中,以形成晶体
管发射极区域。
6. 接触形成,沉积和图案化金属触点以连接电路的不同组件。
7. 钝化,沉积一层氮化硅或聚酰亚胺以保护电路免受外部污染
物的影响。
8. 封装,电路封装在保护性封装中以提供机械和环境保护。
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