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2024年4月18日发(作者：vs debug error怎么解决)

怎样在ZEMAX序列模式里进行公差分析

摘要这篇文章是对镜头进行公差分析的概览。对于公差分析的新手而言，它也

是应该阅读的第一篇文章。

作者MarkNicholson

译者YOng

导语

公差分析是考虑制造缺陷和对准误差对镜头性能影响的过程。这篇文章是公

差分析过程的概览，并且试图成为新手理解公差分析过程的第一篇文章。其他的

KnowledgeBase文章将给出更多针对特定情形的建议和指导。

假设我们的任务是设计一款需要量产的激光扩束镜。1/e

2

全宽是2.5mm的

氩离子激光需要扩束3倍，并且2倍光束全宽处的RMS波前误差不能超过1/20

(假设测得激光光斑全宽为5mm)。

文章末尾可以下载的ZEMAX样例文件使用了两个平-凸透镜，

系统标称性能远远超出了生产要求，

注意到最大标尺是0.01波长，所以PVOPD误差小于1/200。RMS波前误

差(通过建立波前误差绩效函数得到)只有2.15×10

-3

波长，可能小于你从可视化

的OPD图中看到的。注意到系统孔径定义设置为“高斯切趾”，入瞳直径是5mm，

并且切趾因子是2，所以入瞳边缘的光束强度已经降到了峰值强度的1/e

4

=1.8%。

这就是为什么系统的规格要求很关键了！因为高斯光照明时入瞳边球差的变

化比均匀照明时球差变化小，因此1/e

2

直径5mm激光束照明时系统的RMS

OPD是-2×10

-3

波长，而被均匀光照明时，相同系统的RMSOPD是3×10

-3

波

长。

我们现在将要考虑制造公差对系统性能的影响。

制造公差

公差分析是关于考虑制造误差的过程，这样用于最终生产的(asbuilt)设计才


本文标签： 公差 分析 误差 系统 照明

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