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微结构
LIGA技术简介
年月日发(作者:两个一个怎么执行)技术简介是德文()之缩写,译成英文则为译成中文则为光光刻,微电铸,微成形也就是光深刻精密电铸模造成形,通常简称为深刻电铸模造。制程源自德国核能研究所,年初期所发展出来用以制造微结构的技术。它结-深刻术(-)
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光阻
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admin
4月前
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