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2024年12月27日发(作者:distinction生育)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:SUBSTRATE TEMPERATURE MEASURING

METHOD, SUBSTRATE TEMPERATURE

CONTROLLING METHOD, AND SUBSTRATE

TREATMENT EQUIPMENT USING THE SAME

发明人:MASUDA MITSUHIRO,増田 充弘,CHIBA

TAKATOSHI,千葉 ▲隆▼俊,NISHIHARA

HIDEO,西原 英夫,NAKAJIMA TOSHIHIRO,中島

敏博

申请号:JP特願平8-189359

申请日:19960718

公开号:JP特開平10-38702A

公开日:19980213

专利附图:

摘要:Array

申请人:DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD,大日本スクリーン製造株式会社

地址:京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1

国籍:JP

代理人:吉田 茂明 (外2名)

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本文标签: 专利 知识产权 出版社