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2024年12月28日发(作者:activate pycharm)

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:SUBSTRATE-CLEANING PARTICLE

DETECTING DEVICE AND METHOD USING

THE SAME

发明人:IMAI YUJI,今井 勇次,UGAWA KAZUHISA,鵜川

和久,KITSUKAWA NORIYUKI,橘川 紀幸

申请号:JP特願平11-270708

申请日:19990924

公开号:JP特開2001-93873(P2001-93873A)A

公开日:20010406

专利附图:

摘要:Array

申请人:SONY CORP,ソニー株式会社

地址:東京都品川区北品川6丁目7番35号

国籍:JP

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本文标签: 专利 品川 知识产权